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通快专访:光纤碟片激光器孰优孰劣?为何能占领EUV光刻机光源市场?

阅读量: 217次 发布时间:2024-07-14 00:56:21

  器市场有着良好的口碑和技术实力,两种技术方案的结合怎么解决用户的疑问?两种技术又各自有什么特点呢?对于这样的疑问,黄哲向OFweek激光网给出了自己的答案。

  众所周知,光纤激光器的模块化结构使其在功率实现上具有极大优势,可以形成百瓦、一千瓦、两千瓦这样很细的不同功率的产品线,同时光纤耦合技术的成熟也使得功率上万变得非常容易,目前市面上已有多家企业推出3万瓦甚至更高功率的光纤激光器产品。同时,光纤激光器的光束质量较好,在切割应用上有明显优势。目前激光在工业市场上应用最广的是金属切割,而这一领域对加工精密度要求不高,但对效率、成本要求较高,因此更为灵活的光纤激光器在这一市场有着无与伦比的优势。

  灵活性方面光纤激光器占优,但功能性方面碟片激光器则有明显优势,能够实现很多光纤激光器难以实现的功能。例如绿光激光器,光纤激光器需要通过腔外倍频把红外光变成绿光,技术难度很大但碟片激光器可直接在腔内进行倍频,功率也更稳定。此外,碟片激光器的传输光纤可以即插即拔,最大化地减少了客户的停工成本,这都是碟片激光器对比光纤激光器来说独有的优势。

  更为重要的一点是碟片激光器的功率稳定性。黄哲表示:“我们可以向客户保证,在碟片激光器产品的整个使用寿命周期内(从使用的第一天到报废,不仅是质保期),始终保持±1%的出光稳定性。这主要是因为通快的碟片激光器内部有一个闭路的功率控制循环,这是光纤激光器做不到的,技术路线的差别决定了产品的优势。”

  对于碟片激光器和光纤激光器的优势,黄哲总结说:“我认为碟片和光纤是两种技术路线,都有各自的强项和弱项。每个客户的需求不同,比如汽车行业对稳定性、一致性要求更高,更适合使用碟片激光器。但在切割领域,它需要尽快收回投资成本,对加工精密度要求不高,这时光纤激光器激光器更有优势。而通快恰恰结合了这两种优势,既有通快自身的碟片激光器,又有SPI的光纤激光器,产品线很齐全,可以根据客户需要提供最合适的产品,既可以高大上,也可以接地气。”

  提到通快的黑科技,不得不提到供应ASML、用于EUV光刻机的独门光源——3万瓦CO2激光系统。EUV光刻是光刻机发展的第五代技术,也是目前最先进的技术。前四代光刻机使用都属于深紫外光(准分子激光器产生UV激光束),但在摩尔定律的推动下,半导体产业对于芯片的需求已经发展到5nm,甚至是3nm,浸入式光刻面临更为严峻的镜头孔径和材料挑战。可将最小工艺节点推进至5nm、3nm的第五代 EUV光刻机成了半导体行业不可或缺的重磅武器。

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