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英诺激光:在半导体范畴大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术

阅读量: 217次 发布时间:2024-10-22 21:01:01

  同花顺300033)金融研究中心10月21日讯,有投资者向英诺激光301021)发问, 领导您好,公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与工业化”项目与光刻机光源有联系吗,能不能运用到光刻机,谢谢。

  公司答复表明,敬重的投资者,您好!在半导体范畴,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。感谢您的重视!

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