格隆汇9月10日丨英诺激光(301021.SZ)于近期举行成绩阐明会，就“请要点介绍下公司高功率薄片超快激光器关键技能与产业化项目在EUV光刻机方面的使用状况”，公司表明，在半导体范畴，大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技能。现在公司已立项“高功率薄片超快激光器关键技能与产业化”项目，尽力推动大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率的激光技能落地。现在公司产品未使用于EUV光刻机。
格隆汇9月10日丨英诺激光(301021.SZ)于近期举行成绩阐明会，就“请要点介绍下公司高功率薄片超快激光器关键技能与产业化项目在EUV光刻机方面的使用状况”，公司表明，在半导体范畴，大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技能。现在公司已立项“高功率薄片超快激光器关键技能与产业化”项目，尽力推动大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率的激光技能落地。现在公司产品未使用于EUV光刻机。
